首页 产品中心 产品列表 Y.A.C. 退火设备

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目前在国内应用设备–YHR系列快速升温退火炉（RTA）
机台零件贩售
机台现场维修服务
机台软件/硬件改造服务


• 基板尺寸：最多可支持G10大小的基板尺寸。
• 快速升降温：升降温速度可达每分钟100 ℃。
• 小型/密封性能良好的炉膛：独创的炉膛设计，可在短时间内到达低氧状态（100 ppm以下），从而缩短工艺时间。
• 均匀的温度分布：基板上下配置的加热器也进行区块控制，恒温及升降温时均可抑制面内温度分布的误差
• 洁净度：最高可达到美国联邦空气洁净度标准Class10
• 独创的气体控制技术：独创的炉膛内气体控制技术（层流 laminar flow），可切实排出工艺过程中产生的无用气体
• 基板支撑：设有基板支撑部件，可妥善支撑热处理的玻璃基板，以避免受损



YAC退火设备主要面向LTPS智能手机及FPD等高精细液晶面板生产。

兼具量产性和高品质的热处理，适合LTPS高精细液晶面板的量产作业，有助于进一步提升智能手机的性能。

主要应用领域：
(LTPS Backplane) Activation，Dehydrogenation，Cotact，Passivation，Metal Aneal
IGZO Aneal
Flexible Pi Curing

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