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大气化学气相沉积设备（AP-CVD），广泛运用于Semiconductor与Solar Cell
机台组装调试、售后服务。
机台零件贩售。
机台现场维修服务。
机台软件/硬件改造服务。
暂无相关信息
目前主力应用机种- AMAX800V（8寸）与MAX1200（12寸）大气化学气相沉积设备
可应用于各式沉积膜之不同机种，如：SiO2、BPSG、BSG、PSG、AlOx。
可在200℃到500℃的温度范围进行沉积膜制程。

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